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本文標(biāo)題:"材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分"

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材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分

 
 表面分析技術(shù)
 
  在很多情況下,我們感興趣的是材料表面非常薄的氧化膜,例如合
金表面最先形成的氧化物的成分,一組具有高度表面靈敏性的技術(shù)可用
來(lái)進(jìn)行這方面的檢測(cè),Grabke等人對(duì)這些技術(shù)在氧化行為分析方面的應(yīng)
用做了非常好的評(píng)述。
 
  應(yīng)用最廣泛的是俄歇電子譜(AES),由于俄歇電子的激發(fā)是電子能
級(jí)之間轉(zhuǎn)變的結(jié)果,因此它們的能量具有元素特征,除H和He之外的所
有元素都能被檢測(cè)
 
  淺的地方逸出,所以具有表面靈敏性。俄歇譜可用標(biāo)準(zhǔn)值和發(fā)表過
的校正因子進(jìn)行定量,。因此與掃描電子形貌對(duì)應(yīng)的X射線圖類似,如
果用人射光束掃過樣品表面,就能作出成分分布圖。現(xiàn)代儀器中入射電
子束能聚焦到使橫向空間分辨率達(dá)到約50 nm。

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